ОНИТМикроэлектроника Russian Microelectronics

  • ISSN (Print) 0544-1269
  • ISSN (Online) 3034-5480

Исследование оптических свойств сверхтонких пленок на основе силицида металлов

Код статьи
10.31857/S0544126923700229-1
DOI
10.31857/S0544126923700229
Тип публикации
Статус публикации
Опубликовано
Авторы
Том/ Выпуск
Том 52 / Номер выпуска 2
Страницы
160-164
Аннотация
При исследовании оптических свойств тонких пленок для получения достоверных сведений о величине их оптических постоянных необходимо точно измерят толщины металла. Измерение толщины 600 < d < 1500 А0 проводились методом многолучевой интерферометрии и резонансно-частотным методом.
Ключевые слова
резонансно-частотный метод оптические постоянные метод многолучевой интерферометрии кварцевой элемент
Дата публикации
16.09.2025
Год выхода
2025
Всего подписок
0
Всего просмотров
16

Библиография

  1. 1. Тришенков М.А. Фотоприемные устройства и ПЗС. М.: Радио и связь, 1992. 400 с.
  2. 2. Elliott C.T. Future infrared detector technologies // Fourth Int. Conf. on Advanced Infrared Detectors and Systems. 1990. P. 61–66.
  3. 3. Byrne C.F., Knowles P. Infrared formed in mercury cadmium telluride grown by MOCVD // Semicond. Sci. Technol. 1988. № 3. P. 377–381.
  4. 4. Иевлев В.М., Солдатенко С.А., Кущев С.Б. и др. Эффект фотонной активации синтеза пленок силицидов в гетеросистеме (111) Si–Ni–Pt // Конденсированные среды и межфазные границы. 2010. Т. 9. № 3. С. 216–227.
QR
Перевести

Индексирование

Scopus

Scopus

Scopus

Crossref

Scopus

Высшая аттестационная комиссия

При Министерстве образования и науки Российской Федерации

Scopus

Научная электронная библиотека