ГОСТ
|
Керимов Э. Исследование оптических свойств сверхтонких пленок на основе силицида металлов // Микроэлектроника. – 2023. – T. 52. – Номер выпуска 2 C. 160-164 . URL: https://microelectronicsras.ru/10-31857-s0544126923700229-1/?version_id=110516. DOI: 10.31857/S0544126923700229 |
MLA
|
Kerimov, E. A "Investigation of the Optical Properties of Ultrathin Films Based on Metal Silicide." Russian Microelectronics. 52.2 (2023).:160-164. DOI: 10.31857/S0544126923700229 |
APA
|
Kerimov E. (2023). Investigation of the Optical Properties of Ultrathin Films Based on Metal Silicide. Russian Microelectronics. vol. 52, no. 2, pp.160-164 DOI: 10.31857/S0544126923700229 |