- Код статьи
- S30345480S0544126925040044-1
- DOI
- 10.7868/S3034548025040044
- Тип публикации
- Статья
- Статус публикации
- Опубликовано
- Авторы
- Том/ Выпуск
- Том 54 / Номер выпуска 4
- Страницы
- 301-309
- Аннотация
- Получено выражение для электропроводности тонкой поликристаллической плёнки. Для решения задачи используется кинетическое уравнение в приближении времени релаксации с учётом рассеяния электронов на границах кристаллитов поликристаллической плёнки. Влияние поверхностного рассеяния носителей заряда описывается диффузно-зеркальными граничными условиями Фукса. Рассмотрены предельные случаи вырожденного и невырожденного электронного газа. Проведен анализ зависимости электропроводности от интенсивности рассеяния на границе кристаллитов и от длины электромагнитной волны внутри плёнки. Проведено сравнение полученных результатов с известными экспериментальными данными для слоя кремния.
- Ключевые слова
- тонкий слой электромагнитная волна кинетическое уравнение поликристаллическая плёнка модель Фукса электропроводность
- Дата публикации
- 15.05.2025
- Год выхода
- 2025
- Всего подписок
- 0
- Всего просмотров
- 45
Библиография
- 1. Nurdinova R.A., Kasimakhunova A.M. AHV elements with birefringence // Uzbek Jornal of Physics. 2017. V. 19. P. 302–306.
- 2. Pyataykin I.I. Влияние внутреннего размерного эффекта в поликристаллических плёнках металлов на коэффициенты отражения, прохождения и поглощения в них электромагнитных волн СВЧ диапазона // Журнал радиоэлектроники. 2020. № 10.
- 3. Galchenkov L.A., Pyataikin I.I. Enhancement of conduction electron reflection specularity in gold films coated with Langmuir-Blodgett nanolayers // Journal of Radio Electronics. 2019. № 11.
- 4. Khorin I., Orlikovsky N., Rogozhin A., Tatarintsev A., Pronin S., Andreev V., Vdovin V. Optical coefficients of nanometer-thick copper and gold films in microwave frequency range // Proc. SPIE. 2016. V. 10224. P. 1022407.
- 5. Kaplan A.E. Metallic nanolayers: a sub-visible wonderland of optical properties [Invited] // J. Opt. Soc. Am. B. 2018. V. 35. P. 1328–1340.
- 6. Yusupova D.A., Fozilova M.D. Main characteristics and features of semiconductor film strain transducers // Scientific Progress. 2021. V. 2, P. 441–447.
- 7. Nakate U.T. et al. WO3 nanorods structures for high-performance gas sensing application // Materials Letters. 2021. V. 299. P. 130092.
- 8. Huang Y. et al. Switchable band-pass filter for terahertz waves using VO2-based metamaterial integrated with silicon substrate // Opt. Rev. Springer Japan. 2021. V. 28. P. 92–98.
- 9. Long L. et al. Thermally-switchable spectrally-selective infrared metamaterial absorber/emitter by tuning magnetic polariton with a phase-change VO2 layer // Mater. Today Energy. Elsevier Ltd. 2019. V. 13, P. 214–220.
- 10. Bhattacharya S. Towards 30% power conversion efficiency in thin-silicon photonic-crystal solar cells // Physical Review Applied. 2019. V. 11, P. 014005.
- 11. Kalinovskii V.S., Kontrosh E.V., Andreeva A.V., Andreev V.M., Malyutina-Bronskaya V.V., Zalesskii V.B., Lemeshevskaya A.M., Kuzoro V.I., Khalimanovich V.I., Zaitseva M.K. Hybrid Solar Cells with a Sunlight Concentrator System // Technical Physics Letters. 2019. V. 45. P. 850–852.
- 12. Mayadas A.F. Electrical resistivity model for polycrystalline films: the case of arbitrary reflection at external surfaces // Phys. Rev. B. 1970. V. 1, P. 1382–1389.
- 13. Lanzillo N.A., Bajpai U., Garate I., Chen C.T. Size-Dependent Grain-Boundary Scattering in Topological Semimetals // Phys. Rev. Applied. 2022. V. 18. P. 034053.
- 14. Gall D. The search for the most conductive metal for narrow interconnect lines // J. Appl. Phys. 2020. V. 12. P. 050901.
- 15. Hempel H. et al. Predicting Solar Cell Performance from Terahertz and Microwave Spectroscopy // Advanced Energy Materials 2022. V. 12.
- 16. Kuznetsova I.A., Romanov D.N., Savenko O.V., Yushkanov A.A. Calculating the high-frequency electrical conductivity of a thin semiconductor film for different specular reflection coefficients of its surface // Russian Microelectronics. 2017. V. 46. № 4. P. 252–260.
- 17. Zavitaev E.В., Simonova T.E., Utkin A.N. Взаимодействие H-волны с тонким металлическим слоем с обобщёнными граничными условиями // Журнал технической физики. 2023. Т. 93. Вып. 6. С. 735–739.
- 18. Utkin A.N., Yushkanov A.А. Влияние коэффициентов зеркальности на взаимодействие электромагнитной E-волны с тонкой металлической пленкой, расположенной между двумя диэлектрическими средами // Оптика и спектроскопия. 2018. Т. 124. Вып. 2. С. 250–254.
- 19. Kuznetsov P.А., Moscowskiy S.B., Romanov Д.Н. Влияние анизотропии изоэнергетической поверхности на электропроводность и постоянную Холла для тонкой полупроводниковой пленки // Микроэлектроника. 2022. Т. 51. № 3. С. 218–229.
- 20. Zavitaev E.В., Rusakov О.В., Chukhleb E.P. Влияние парных столкновений носителей зарядов на электрическую проводимость тонкого проводящего слоя // ЖТФ. 2023. Т. 93. Вып. 11. С. 1561–1569.
- 21. Nhung L.Т., Yushkanov A.А. Поперечная электрическая проводимость и диэлектрическая проницаемость поликристаллического металла // Журнал технической физики. 2021. Т. 91. Вып. 6. С. 943–947.
- 22. MacHale J. et al. Exploring conductivity in ex-situ doped Si thin films as thickness approaches 5 nm // J. Appl. Phys. 2019. V. 125. P. 225709.
