Статьи автора

МОДЕЛИРОВАНИЕ САМОСБОРКИ МИКРОИНДУКТОРОВ, ПРОИЗВОДИМОЙ ЗА СЧЕТ ОСТАТОЧНЫХ МЕХАНИЧЕСКИХ НАПРЯЖЕНИЙ

Номер выпуска 4 от 15.05.2025

Методом конечных элементов проведено моделирование четырех конструкций трехмерных микроиндукторов, изготовление которых осуществляется путем самосборки с использованием остаточных механических напряжений. В ходе моделирования проводился расчет деформации заготовок, выполненных из пленки Cr толщиной 300 нм, в заданных участках которых был сформирован градиент механических напряжений. Также методом конечных элементов была определена индуктивность полученных микроиндукторов.

59 0