- Код статьи
- S30345480S0544126925040076-1
- DOI
- 10.7868/S3034548025040076
- Тип публикации
- Статья
- Статус публикации
- Опубликовано
- Авторы
- Том/ Выпуск
- Том 54 / Номер выпуска 4
- Страницы
- 333-338
- Аннотация
- Представлены результаты исследования влияния термического отжига на формирование омических контактов алюминий-кремний и алюминий-поликремний на стадии изготовления современных интегральных микросхем. Установлено, что стандартный термический отжиг при температуре 450 оС в течение 20 мин в азоте приводит как к растворению кремния в алюминиевых контактах с последующим образованием рекристаллизованных островков кремния р-типа на границе раздела алюминий-кремний, так и к растворению поликремния, с последующим выделением его в виде остроугольных конгломератов. При использовании быстрого термического отжига (Tmax = 450 оС, 7 с, N2) образование таких конгломератов не обнаружено. Растворение поликремния (кремния) в алюминии при формировании омических контактов алюминий-поликремний (алюминий-кремний) приводит к изменению величины контактного сопротивления поликремниевых резисторов и вольт-амперных характеристик биполярных транзисторов.
- Ключевые слова
- быстрый термический отжиг интегральная микросхема омический контакт алюминий-поликремний омический контакт алюминий-кремний биполярный транзистор вольт-амперная характеристика
- Дата публикации
- 15.05.2025
- Год выхода
- 2025
- Всего подписок
- 0
- Всего просмотров
- 57
Библиография
- 1. Semiconductor Devices: Physics and Technology / ed.: S.M. Sze, M.-K. Lee. – 3rd ed. – Hoboken, N.J: Wiley, 2012. – 592 p.
- 2. Базовые технологические процессы изготовления полупроводниковых приборов и интегральных микросхем на кремнии. Т. 3 / Под ред. Турцевича А.С. Минск: Изд-во “Интегралполиграф”, 785 с.
- 3. Franssila S. Introduction to microfabrication. – John Wiley and Sons, 2010. – 518 p.
- 4. Пилипенко В.А. Быстрые термообработки в технологии СБИС. Минск: Издательский центр БГУ, 2004. 531 с.
- 5. Пилипенко В.А., Ковальчук Н.С., Жигулин Д.В. Влияние длительной и быстрой термообработок на формирование границы раздела алюминий – поликремний // Журнал Белорусского государственного университета. Физика. 2023. № 2. С. 51–57.
- 6. Пилипенко В.А., Ковальчук Н.С., Жигулин Д.В., Шестовский Д.В., Анищик В.М., Понарядов В.В. Механизм взаимодействия алюминия с поликремнием при формировании омического контакта методами длительной и быстрой термообработок // Журнал Белорусского государственного университета. Физика. 2024. № 1. С. 42–48.
- 7. Пилипенко В.А., Ковальчук Н.С., Шестовский Д.В., Жигулин Д.В. Энергодисперсионный рентгеновский микроанализ – как метод исследования границы раздела алюминий-поликремний после воздействия длительного и быстрого термических отжигов // Приборы и методы измерений. 2024. Т. 15. № 2. С. 104–109. https://doi.org/10.21122/2220-9506-2024-15-2-104-109
