By this author

MEASURING ADHESION ENERGY BETWEEN MEMS STRUCTURES USING AN ADHERED CANTILEVER

Issue number 2 from 20.03.2025

Спонтанное залипание элементов МЭМС в процессе изготовления или эксплуатации представляет серьезную проблему. Капиллярные или электростатические силы, приводящие к залипанию, можно исключить, однако дисперсионные силы вследствие их фундаментальной природы присутствуют всегда и должны быть детально исследованы. В настоящей работе эти силы исследуются экспериментально для систем Si-Au и Si-Ru с помощью тестовой структуры - залипшего кантилевера. Длинные (12 мм) и тонкие (10 мкм) кантилеверы позволяют провести измерения с высокой точностью. В работе детально обсуждается процедура изготовления кантилеверов и измерительного чипа. Информация об энергии адгезии извлекается из формы кантилевера, которая измеряется сканирующим интерферометром. Тщательно исследована шероховатость контактирующих поверхностей и получено равновесное среднее расстояние между поверхностями при контакте. Работа представляет интерес не только для МЭМС, но также позволяет получить фундаментальные знания о дисперсионных силах на малых расстояниях, недоступных для других методов измерений.

9 0