By this author

PRECISION ETCHING OF ALUMINUM CONDUCTORS IN THE TECHNOLOGY OF SWITCHING DEVICES OF MICROSYSTEMS TECHNOLOGY

Issue number 2 from 20.03.2025

Представлена экспериментально полученная прецизионная технология формирования управляемого профиля алюминиевых токопроводящих дорожек с заданным сопротивлением. Технология основана на анизотропном плазмохимическом травлении алюминия в газовой смеси BCl-Cl с последующей прецизионной подгонкой сопротивления дорожек “сухим” плазмохимическим методом. Показано, что для обеспечения наиболее качественного плазмохимического травления алюминия с минимальным подтравом под фоторезистивную маску, с минимальным наклоном профиля алюминиевой токопроводящей дорожки и отсутствием дефектности рисунка травления и стравленных областей необходимо использовать многостадийный итерационный технологический процесс с технологическими операциями подготовки поверхности до травления и операциями удаления полимера и фоторезиста после травления.

17 0