Главная>Авторы>Мяконьких А. В.

Мяконьких А. В.

Код пользователя: 82293

Область интересов

Статьи автора

Параметры и состав плазмы в смеси CF<sub>4</sub> + H<sub>2</sub> + Ar: эффект соотношения CF<sub>4</sub>/H<sub>2</sub>

23

07.06.2025

Состав газовой фазы и кинетика атомов фтора в плазме SF<sub>6</sub>

22

07.06.2025