Главный редактор – Красников Геннадий Яковлевич
президент Российской академии наук, академик РАН, доктор технических наук (Руководство РАН, Москва)
Заместитель главного редактора – Лукичев Владимир Федорович
член-корреспондент РАН, доктор физико-математических наук (Физико-технологический институт РАН им. К.А. Валиева, Москва)
Заместитель главного редактора – Неизвестный Игорь Георгиевич
член-корреспондент РАН, доктор физико-математических наук (Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова СО РАН, Новосибирск)
Ответственный секретарь – Руденко Константин Васильевич
доктор физико-математических наук (Физико-технологический институт РАН им. К.А. Валиева, Москва)
Абрамов Игорь Иванович
доктор физико-математических наук (Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники, Минск)
Бакланов Михаил Родионович
доктор химических наук (Северно-Китайский технологический университет, Пекин)
Бухараев Анастас Ахметович
член-корреспондент Академии наук Республики Татарстан, доктор физико-математических наук (Казанский физико-технический институт им. Е.К. Завойского, Казань)
Горбацевич Александр Алексеевич
академик РАН, доктор физико-математических наук (Физический институт им. П.Н. Лебедева РАН, Москва)
Горнев Евгений Сергеевич
член-корреспондент РАН, доктор технических наук (Научно-исследовательский институт молекулярной электроники, Москва)
Комаров Фадей Фадеевич
академик Национальной академии наук Республики Беларусь, доктор физико-математических наук (Институт прикладных физических проблем Белорусского государственного университета, Минск)
Мальцев Петр Павлович
доктор технических наук (Институт сверхвысокочастотной полупроводниковой электроники им. В.Г. Мокерова РАН, Москва)
Попов Владимир Павлович
доктор физико-математических наук (Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова СО РАН, Новосибирск)
Рощупкин Дмитрий Валентинович
член-корреспондент РАН, доктор физико-математических наук (Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН, Черноголовка, Московская обл.)
Сигов Александр Сергеевич
академик РАН, доктор физико-математических наук (МИРЭА - Российский технологический университет, Москва)
Стриханов Михаил Николаевич
доктор физико-математических наук (Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ», Москва)
Сурис Роберт Арнольдович
академик РАН, доктор физико-математических наук (Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург)
Чаплыгин Юрий Александрович
академик РАН, доктор технических наук (Национальный исследовательский университет «Московский институт электронной техники», Москва)
Шахнов Вадим Анатольевич
член-корреспондент РАН, доктор технических наук (Московский государственный технический университет им. Н.Э. Баумана, Москва)
Зав. редакцией – Есина Елена Владимировна
кандидат технических наук
